究员担任光刻胶研究所所长,夏季常教授担任光刻机双工作台系统研究所所长,陈运复研究员担任刻蚀机研究所所长,杨鸿涛教授担任光刻机热处理研究所所长,郭兴程研究员担任掩膜版研究所所长,景清云教授担任离子注入机研究所所长,李广均研究员担任光刻机半导体信息部部长。
四十八岁的物理学博士杨鸿涛教授来自于华清大学热处理研究所。
四十八岁的计算机博士李广均研究员来自中K院计算机研究所。
四十七岁的材料学博士郭兴程研究员来自中K院冰城材料研究所。
四十五岁的华清物理学博士、副研究员钱富强的研究方向就是光刻机光源、KrF准分子激光器,专门请他回到光刻机光源研究所担任所长助理,协助邓国辉继续研究ArF准分子激光器。
四十三岁的西工大材料学博士、副研究员邓中海研究硅片制造,担任硅片制造研究所所长助理,协助欧阳民研发硅晶圆制造。
四十一岁的华清半导体博士、副研究员张国伟研究光刻胶,担任光刻胶研究所所长助理。
三家研究所人才济济,不少是国内光刻机半导体方面的领军人物!
人才有了,资金有了,拥有国际一流设备和材料的研究院有了,但没有重生者指引方向,BSEC上下齐心,也追不上Nikon半导体设备公司。
人才和技术需要沉淀和积累,双方的实力相差太远!
在新进口2500万美元先进机器设备和材料到位,研制成功磁悬浮式双工作台系统,BSEC能独立完成1.5um制程工艺的制定规格、选择架构、逻辑设计、电路设计、布线、制造、测试、封装和总测试等九道工序,能生产一条具有自主知识产权的4英寸晶圆和1.5um制程工艺的半导体生产线。
BSEC如今的最高水平,只能生产西方光刻机半导体设备公司十年前淘汰的半导体生产线!