“邓院长、欧阳副院长、陈副院长，集中三家的科研技术人员启动ArF准分子激光、5英寸硅晶圆以及与ArF准分子激光配套的镜头、掩膜版和光刻胶的研制工作，人才最重要，将辞职下海的优秀人才尽量请回来，派人登记设备和材料，做好搬迁的准备，超过十年的设备留给原单位，根据科研和生产需要，从国内外订购最新的设备和材料，不担心研发资金。”

“好的，孙总！”

……

三人喜笑颜开。

邓国辉团队早就准备研发ArF准分子激光器，但苦于没有研发资金。

欧阳民团队也可以启动5英寸硅晶圆研发，陈伟长团队可以开始与ArF准分子激光器相配套的光学镜头研发。

BSEC将成立光刻机半导体研究院，下设九所一部，即光刻机光源研究所、光刻机光学系统研究所、硅晶圆研究所、光刻机精密设备研究所、刻蚀机研究所、光刻机热处理研究所、光刻胶研究所、掩膜版研究所、离子注入机研究所和光刻机半导体信息部。